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Innovative Infrarot-Temperaturmesstechnik für die additive Fertigung mit Lichtbogen

Temperaturprozesssteuerung für die additive Fertigung mittels Lichtbogenverfahren mit Verhältnis-Pyrometer und kurzwelligen Infrarotkameras

Herausforderung

Rückstände von Photoresist und Verunreinigungen können die präzise Strukturübertragung stören, zu fehlerhaften Schaltungen führen, Materialabscheidungs- und Ätzprozesse beeinträchtigen und letztlich den Ertrag und die Zuverlässigkeit der Bauteile verringern. Visuelle Prüfmethoden sind unzureichend – Rückstände sind schwer zu erkennen und vollständig zu entfernen, was die Prozessintegrität gefährdet und Produktionsfehler erhöht.

Lösung

Infrarotbildgebung nutzt thermische Kontraste zwischen Rückständen und Wafer-Oberflächen, um selbst unsichtbare Verunreinigungen präzise zu erkennen. Dadurch wird eine gezielte Reinigung ermöglicht, die eine vollständige Entfernung von Photoresist-Rückständen sicherstellt. Hochauflösende Infrarotbilder erleichtern die Identifikation kleinster Rückstände und verbessern die Sauberkeit und die Leistung der anschließenden Lithographieprozesse erheblich.

Vorteile

  • Reduzierte Defektrate durch präzise Rückstandserkennung, höhere Ausbeute und Zuverlässigkeit integrierter Schaltkreise
  • Verbesserte Prozesskontrolle durch Sichtbarmachung von Verunreinigungen, die bei herkömmlicher Inspektion unsichtbar bleiben
  • Optimierte Dokumentation der Reinigungsprozesse zur kontinuierlichen Qualitäts- und Prozessverbesserung
  • Erhöhte Effizienz durch gezielte Reinigung, Zeitersparnis und reduzierte Produktionsstillstände
  • Früherkennung von Kontaminationen, weniger Nacharbeit und maximale Produktionsausbeute
Vorteile der berührungslosen IR-Temperaturmessung im 3D-Druck und in der additiven Fertigung

Qualitätssteigerung im Metall-3D-Druck: Temperaturkontrolle in der Metall-Additiven Fertigung

Wire Arc Additive Manufacturing (WAAM) ist ein additives Fertigungsverfahren, das in den letzten Jahren im Bereich des metallischen 3D-Drucks zunehmend an Bedeutung gewonnen hat. Hohe Aufbauraten, Draht als kostengünstiges und leicht verfügbares Ausgangsmaterial sowie ein hochgradig kontrollierbarer Prozess sind die wichtigsten Vorteile.

Beim Wire Arc Additive Manufacturing wird das Material schichtweise als Draht mittels Lichtbogenschweißen auf eine Grundplatte aufgetragen – Naht für Naht. Gegenüber pulverbasierten Verfahren bietet dies mehrere Vorteile:

Ein Draht ist ein deutlich günstigeres Ausgangsmaterial, und die meisten Werkstoffe sind in Drahtform verfügbar. Außerdem kann auf die komplexe Pulverhandhabung und Vakuumtechnik verzichtet werden. Der größte Vorteil liegt jedoch in der sehr hohen Aufbaurate, die mit WAAM erreicht werden kann – je nach verwendetem Material bis zu 650 cm³ pro Stunde.

Das Berliner Unternehmen GEFERTEC entwickelt und baut Maschinen, die das WAAM-Verfahren für den metallischen 3D-Druck einsetzen. Die Lichtbogenmaschinen, die in 3-Achs- und 5-Achs-Varianten in verschiedenen Größen verfügbar sind, vereinen modernste Schweißtechnik, benutzerfreundliche CAM-Software und eine Werkzeugmaschine zu einer vollständigen additiven Fertigungslösung.

Die Temperatur spielt im WAAM-Prozess eine entscheidende Rolle. Denn die Temperaturverteilung im Werkstück und das Abkühlverhalten sind ausschlaggebend für die Qualität des fertigen Bauteils. Während des Maschinenbetriebs wird das Schweißen erst gestartet, wenn die darunterliegende Schicht auf eine bestimmte Temperatur abgekühlt ist. Ist die Zwischenschicht noch zu heiß, führt dies zu ungleichmäßigem Schichtaufbau – die Schichtdicke würde zu stark variieren und die Bauteilgeometrie könnte nicht beibehalten werden.

Optimale Zwischenschichttemperaturen für die Reproduzierbarkeit von Schweißnähten

Pyrometrische Steuerung für Lichtbogenmaschinen: Optimale Zwischenschichttemperaturen für reproduzierbare Schweißnähte

Die entsprechende Temperaturmesstechnik wird in den GEFERTEC-Lichtbogenmaschinen mit einem Optris-Pyrometer aus der CTi-Serie realisiert. In den meisten Anwendungen liegt der Sollwert für die Zwischenschichttemperatur zwischen 150 °C und 200 °C – optimal für eine reproduzierbare Schweißnahtgeometrie. Nach dem Abschluss einer Schicht fährt der Schweißkopf zum Startpunkt der nächsten Lage, wo das Pyrometer die Temperatur des Bauteils misst. Erst wenn diese auf den voreingestellten Wert abgesunken ist, setzt die Maschine ihre Arbeit fort.

Die in den Maschinen eingesetzten CTi-Serie-Pyrometer verfügen über sehr kleine Messköpfe, die sich einfach in die Anwendung integrieren lassen. Die separate Elektronikeinheit, die im Schaltschrank untergebracht ist, verfügt über verschiedene Ausgänge, über die der Messwert an die Maschinensteuerung übermittelt wird. So wird während des Betriebs die Zwischenschichttemperatur präzise auf den Sollwert geregelt.

Damit die Temperatur mit einem Pyrometer exakt bestimmt werden kann, muss der Emissionsgrad des Materials genau bekannt sein. Wird die Sicht auf die Messfläche beeinträchtigt, kann dies das Messergebnis verfälschen. Die Lichtbogenmaschinen von GEFERTEC können auch zur Herstellung von Titanbauteilen eingesetzt werden – hierbei entsteht allerdings dichter Rauch.

In solchen Fällen sind Quotientenpyrometer, wie sie in der CTratio-Serie von Optris verfügbar sind, zu empfehlen. Da hier das Verhältnis der Intensitäten zweier Wellenlängen gebildet wird, kann die Messung auch bei eingeschränkter Sicht zuverlässig durchgeführt werden. Solche CT-Ratio-Pyrometer sind für den Einsatz in Lichtbogenmaschinen vorgesehen, mit denen der Anwender Titankomponenten drucken möchte.

Thermografische Bildgebung in Lichtbogenmaschinen: Vorteile der Optris PI 1M-Wärmebildkameras

Thermografische Bildgebung in Lichtbogenmaschinen

Darüber hinaus wird das Modell Optris PI 1M bei der Entwicklung der Lichtbogenmaschinen und insbesondere zur Prozessqualifizierung eingesetzt.

Diese Wärmebildkamera ist mit einem hochdynamischen CMOS-Detektor ausgestattet und bietet eine optische Auflösung von bis zu 764 x 480 Pixeln.

Im Rahmen der Untersuchungen von GEFERTEC ist es von Vorteil, ein Gesamtbild aufzunehmen, um die räumliche Temperaturverteilung zu visualisieren. So können Temperaturverteilungen und Abkühlprozesse analysiert werden, was für die Prozessqualifizierung erforderlich ist.

Das Modell liefert dank seines idealen Spektralbereichs zur Messung metallischer Oberflächen hochwertige Ergebnisse und reale Temperaturwerte im Schmelzbad und dessen Umgebung. Die Spot-Finder-Funktion, ein praktisches Feature für diese Art von Anwendung, erhöht den Nutzen zusätzlich.

Die Infrarotkameras von Optris können einfach über eine USB-Schnittstelle an einen PC angeschlossen werden, um Bilddaten zu übertragen. Die mitgelieferte PIX Connect Analysesoftware ermöglicht eine Echtzeitauswertung der Thermografiebilder und stellt damit ein praxisnahes Werkzeug für die Prozessqualifizierung dar. Zudem vereinfacht die Software die Archivierung der Aufnahmen, was die Anwenderfreundlichkeit weiter erhöht.

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