Microbolometer

Ein Mikrobolometer ist ein Bauelement, das Strahlung mithilfe eines Widerstandsthermometers misst. Wird Strahlung absorbiert, erwärmt sich eine möglichst stark geschwärzte Oberfläche. Dadurch ändert sich der Widerstand des Materials, was messbar ist. Häufig werden Halbleiter (Thermistoren) eingesetzt, da sie einen hohen Temperaturkoeffizienten besitzen und der Detektor dadurch besonders empfindlich wird. Eine thermische Brücke mit definierter Wärmeleitfähigkeit zu einem bekannten Temperaturniveau dient dabei als Wärmesenke und ermöglicht eine kontinuierliche Strahlungsmessung. Heutzutage können sehr dünne Schichten mit hohem Absorptionskoeffizienten über einen breiten Bereich des elektromagnetischen Spektrums hergestellt werden, wodurch Bolometerdetektoren für die Erfassung von Infrarotstrahlung in einem weiten Spektralbereich geeignet sind. Werden viele Bolometer zu einem Array kombiniert, entsteht ein bildgebendes Messsystem zur Erfassung von Infrarotstrahlung – beispielsweise eine Infrarotkamera.